1、检查微波设备冷却装置是否正常：冷却装置的检查应先弄清设备使用的冷却方式，使用水冷的，应检查水管是否漏水、是否堵塞。风冷的应检查风扇是否完好，风扇电源是否正常，损坏的部件应予以更换。
2、检查微波设备电源电压是否正常：各电气连接部分有无过热现象。正常的输入电源电压应为交流(DC)220V。如果输入电源达不到该要求，则应检查电源回路元器件如空气开关、保险等是否完好。
3、检查微波设备高压电容是否正常：高压电容并接电阻的阻值约10Ω左右；电容器接线端与外壳间阻值应为无穷大。实际测量值与以上数据不相符的，则应更换相应的元器件。
4、检查微波设备高压硅堆是否正常：使用万用表测量高压硅堆的正向阻值应为100KΩ左右，反向电阻应为无穷大。若实际测量值与以上数据不相符，则应更换高压硅堆。
5、检查微波设备磁控管是否正常：使用万用表测量磁控管的灯丝间的阻值应小于1Ω，且灯丝对地绝缘应良好。若实际测量值与以上数据不相符，则应更换磁控管。
6、检查微波设备高压变压器是否正常：高压变压器的检测需要用到万用表的电阻档，使用万用表测量变压器的原边绕组阻值应为20Ω左右;变压器的高压绕组阻值应为100Ω左右；灯丝绕组的阻值应接近于0，且各绕组对地绝缘应良好。如果实际测量值与以上数据不相符，则可判断高压变压器故障，应检修或更换变压器。
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